近日，日聯(lián)科技成功研發(fā)出110kV封閉式熱陰極微焦點(diǎn)X射線源，其最大管電壓110kV，最大管功率25W，最小焦點(diǎn)尺寸小于8μm。日聯(lián)科技110kV微焦點(diǎn)X射線源將進(jìn)一步擴(kuò)充公司微焦點(diǎn)射線源產(chǎn)品線覆蓋能力，其優(yōu)秀的穿透力和分辨力，將為客戶帶來(lái)更佳的產(chǎn)品檢測(cè)體驗(yàn)。
X射線自1895年被德國(guó)物理學(xué)家倫琴發(fā)現(xiàn)以來(lái)，就引起了科學(xué)界的廣泛關(guān)注和研究。近十幾年來(lái)，X射線的影像檢測(cè)研究和應(yīng)用不斷取得新的進(jìn)展和突破，且在工業(yè)領(lǐng)域被廣泛使用，其關(guān)鍵部件X射線發(fā)射源的焦點(diǎn)尺寸決定檢測(cè)精度，即焦點(diǎn)尺寸越小，檢測(cè)精度越高。在集成電路、新能源電池等精密制造領(lǐng)域，為滿足高精度檢測(cè)要求，必須配置微米級(jí)焦點(diǎn)尺寸X射線源，即微焦點(diǎn)X射線源。長(zhǎng)期以來(lái)，用量最大的封閉式微焦點(diǎn)X射線源的核心技術(shù)被國(guó)外壟斷，致使中國(guó)長(zhǎng)期無(wú)法制造微焦點(diǎn)射線源，造成我國(guó)集成電路、航空航天、科學(xué)研究等領(lǐng)域用的微焦點(diǎn)射線源一直依賴于高成本進(jìn)口，已成為限制我國(guó)高技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡脖子”問(wèn)題。
日聯(lián)科技（688531.SH）是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的工業(yè)X射線智能檢測(cè)裝備供應(yīng)商。自設(shè)立以來(lái)，始終專注于X射線全產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)研究，在核心部件X射線源領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大突破，成功研制出國(guó)內(nèi)首款封閉式熱陰極微焦點(diǎn)X射線源并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，技術(shù)達(dá)到“國(guó)際先進(jìn)、國(guó)內(nèi)領(lǐng)先”水平。解決了國(guó)內(nèi)集成電路及電子制造、新能源電池等領(lǐng)域精密檢測(cè)的“卡脖子”問(wèn)題。該產(chǎn)品采用成熟的熱陰極技術(shù)，其原材料實(shí)現(xiàn)100%國(guó)產(chǎn)化自主可控，具有高穩(wěn)定性、高可靠性、低故障率等優(yōu)勢(shì)。
為了打破國(guó)外壟斷，實(shí)現(xiàn)核心部件的自主可控，日聯(lián)科技在X射線基礎(chǔ)研發(fā)領(lǐng)域投入超十年，陸續(xù)攻克高純鉬柵控微孔電子槍制備、三級(jí)電子光學(xué)微焦點(diǎn)聚焦、微尖高密度電子覆膜陰極制備和一體化耐高壓固態(tài)高頻高壓發(fā)生器制備等技術(shù)難點(diǎn)，在X射線源產(chǎn)品設(shè)計(jì)、關(guān)鍵材料、技術(shù)工藝、生產(chǎn)設(shè)備和技術(shù)團(tuán)隊(duì)等方面均實(shí)現(xiàn)了完全自主可控，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)微焦點(diǎn)X射線源的產(chǎn)業(yè)化。關(guān)于封閉式熱陰極X射線源的應(yīng)用，日聯(lián)科技已完成90kV、120kV、130kV封閉式熱陰極微焦點(diǎn)X射線源的量產(chǎn)，研制成功新品110kV射線源，并且正在快速推進(jìn)150kV閉管微焦點(diǎn)X射線源、160kV開管微焦點(diǎn)射線源及大功率小焦點(diǎn)射線源的研發(fā)，未來(lái)將進(jìn)一步縮小我國(guó)在該領(lǐng)域與國(guó)外的技術(shù)差距。
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